粗糙度儀又叫表面粗糙度儀、表面光潔度儀、表面粗糙度檢測(cè)儀、粗糙度測(cè)量?jī)x、粗糙度計(jì)、粗糙度測(cè)試儀等多種名稱，外研發(fā)后來(lái)才引內(nèi)。粗糙度儀測(cè)量件表面粗糙度時(shí)，將傳感器放在件被測(cè)表面上，由儀器內(nèi)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)傳感器沿被測(cè)表面做等速滑行，傳感器通過(guò)內(nèi)置的銳利觸針感受被測(cè)表面的粗糙度，此時(shí)件被測(cè)表面的粗糙度引起觸針產(chǎn)生位移，該位移使傳感器電感線圈的電感量發(fā)生變化，從而在相敏整器的輸出端產(chǎn)生與被測(cè)表面粗糙度成比例的模擬信號(hào)，該信號(hào)經(jīng)過(guò)放大及電平轉(zhuǎn)換之后入數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)。

作原理

針描法又稱觸針?lè)?。?dāng)觸針直接在件被測(cè)表面上輕輕劃過(guò)時(shí)，由于被測(cè)表面輪廓峰谷起伏， 觸針將在垂直于被測(cè)輪廓表面方向上產(chǎn)生上下移動(dòng)，把這種移動(dòng)通過(guò)電子裝置把信號(hào)加以放大， 然后通過(guò)零表或其它輸出裝置將有關(guān)粗糙度的數(shù)據(jù)或圖形輸出來(lái)。

采用針描法原理的表面粗糙度測(cè)量?jī)x由傳感器、驅(qū)動(dòng)器、零表、記錄器和電感傳感器是輪廓儀的主要件之，其作原理見圖2，在傳感器測(cè)桿的端裝有金剛石觸針，觸針尖 端曲率 半徑r很小，測(cè)量時(shí)將觸針搭在件上，與被測(cè)表面垂直接觸，利用驅(qū)動(dòng)器以定的 速度拖動(dòng)傳感器。由于被測(cè)表面輪廓峰谷起伏，觸狀在被測(cè)表面滑行時(shí)，將產(chǎn)生上下移動(dòng)。此運(yùn)動(dòng)經(jīng)支點(diǎn)使磁芯同步地上下運(yùn)動(dòng)，從而使包圍在磁芯外面的兩個(gè)差動(dòng)電感線圈的電感量發(fā)生變化。圖3為儀器的作原理主框圖。傳感器的線圈與測(cè)量線路是直接接入平衡電橋的，線圈電感量的變化使電橋失 去平衡，于是就輸出個(gè)和觸針上下的位移量成正比的信號(hào)，經(jīng)電子裝置將這微弱電量的變化放大、 相敏檢波后，獲得能表示觸針位移量大小和方向的信號(hào)。此后，將信號(hào)分成三路:路加到零表上， 以表示觸針的位置，路輸至直率放大器，放大后推動(dòng)記錄器行記錄;另路經(jīng)濾波和平均表放大 器放大之后，入積分計(jì)算器，行積分計(jì)算，即可由示表直接讀出表面粗糙度Ra值。

圖3 傳統(tǒng)表面粗糙度測(cè)量?jī)x作原理框圖零表的作用反映鐵芯在差動(dòng)電感線圈中所處的位置。當(dāng)鐵芯處于差動(dòng)電感線圈的中間位置時(shí)，零表針示出零位，即保證處于電感變化的線性范圍之內(nèi)。所以，在測(cè)量之前，調(diào)整零表，使其處于零位。經(jīng)過(guò)噪聲濾波和波度濾波以后，剩下來(lái)的就是與被測(cè)表面粗糙度成比例的信號(hào)，再經(jīng)平均表放大器后，所輸出的電I與被測(cè)表面輪廓各點(diǎn)偏離中線的度y的值成正比，然后經(jīng)積分器成的積計(jì)算，得出Ra值，由零表顯示出來(lái)。這種儀器適用于測(cè)定0.02-10μm的Ra值，其中有少數(shù)型號(hào)的儀器還可測(cè)定更小的參數(shù)值，儀器配有各種附件，以適應(yīng)平面、內(nèi)外圓柱面、圓錐面、面、曲面、以及小孔、溝槽等形狀的件表面測(cè)量。測(cè)量迅速方便，測(cè)值度。

傳統(tǒng)表面粗糙度測(cè)量?jī)x存在以下幾個(gè)方面的不足:

(1)測(cè)量參數(shù)較少，般僅能測(cè)出Ra、Rz、Ry等少量參數(shù); (2)測(cè)量度較低，測(cè)量范圍較小，Ra值的范圍般為0.02-10μm左右; (3)測(cè)量方式不靈活，例如:評(píng)定長(zhǎng)度的選取，濾波器的選擇等; (4)測(cè)量結(jié)果的輸出不直觀。成上述幾個(gè)方面不足的主要原因是:系統(tǒng)的可靠性不，模擬信號(hào)的誤差較大且不便于處理等。